Ichor Systems 生產(chǎn)全系列常規(guī)、模塊化隔膜閥、模塊化計量閥和止回閥,其性能和純度均達到或超過所有行業(yè)標準。我們的常規(guī)隔膜閥 (CDV) 系列可為常規(guī)安裝系統(tǒng)提供高可靠性和價值,而我們的模塊化隔膜閥 (MDV) 系列則專為模塊化表面安裝系統(tǒng)而設計。我們所有閥門的設計均符合 SEMI 規(guī)范,具有高可靠性和性能,并與市場上所有競爭系統(tǒng)兼容。客戶須確保所選部件是符合其防護性能的適當部件,同時考慮到氣體/流體輸送系統(tǒng)的材料兼容性、操作條件、正確安裝等
CDV:1/4" 2 端口閥 (1-2)
外螺紋面密封,旋轉(zhuǎn)
氣動操作 N.C.
VESPEL,鎳 200,高純度
a = 雙端口閥門 (1-2)
b =2 端口閥 (3-1)
c =3 端口閥 (3-1/2)
d =3 端口閥 (2-1/3)
e =3 端口閥 (1-2/3)
f =3 端口閥 (1/2-3)
g =3 端口閥 (1/3-2)
h =3 端口閥 (2/3-1)
i =4 端口閥 (1/3/4-2)
j =4 端口閥 (1-2/3/4)
k =4 端口閥 (1/2-3/4)
l =4 端口閥 (1/4-2/3)
m =2 端口閥 (5-1)
N =2端口閥 (1-3)
FS = 內(nèi)螺紋端面密封,旋轉(zhuǎn)式
mv = 外螺紋端面密封
ms = 外螺紋端面密封,旋轉(zhuǎn)式
TS = 卡套管
K = PCTFE (KEL-F)
V = VESPEL
P = PEEK
F = PFA / ASTM D3307, 類型 II
S = 316L SST semi F20
A = 316L
N = 鎳 200
M = 鎳 400
H = 鎳合金 C22
S = 標準表面處理
H = 高純度
U = 更高純度
產(chǎn)地:美國
工作壓力:真空至 150 psig
端口配置:2 端口閥 (1-2)
連接 1 類型:外螺紋端面密封,旋轉(zhuǎn)式
連接 2 類型:外螺紋端面密封,旋轉(zhuǎn)式
工作溫度:-10 至 150 ℃ (15 至 300 ℉)
主體材料:鎳 200
純度等級:高純度
閥座材料:vespel
執(zhí)行機構特性:1/8"-27 npt
隔膜材料:elgiloy
流量系數(shù):0.3 cv
潤濕表面光潔度:10 ra
清洗:超聲波清洗
驅(qū)動類型:氣動控制 n.c.
爆破壓力:4500 psig
執(zhí)行壓力:65 至 125 psig
連接尺寸:1/4 英寸
流體輸送、半導體、制造業(yè)、集成解決方案